גז זרימה נמוכה מד זרימה/בקר זרימה

מד זרימת מסה זרימה נמוכה מסדרת SRK-DL ובקר זרימה יכולים למדוד קצב נמוך במיוחד של גז עד ל-2 sccm (2 מ"ל/דקה). מד זרימה נמוך במיוחד נמצא בשימוש נפוץ ביישומים שונים כגון כרומטוגרפיית גז, ניתוח גז, מחקר מעבדה ותהליכים תעשייתיים שבהם נדרשות מדידות זרימת גז מדויקות, ניתן להשתמש בו כמד זרימה נמוכה חמצן, מד זרימת אוויר בקצב זרימה נמוך, זרימה מונים ליישומי זרימה נמוכה של חנקן (N2), מד זרימה נמוך מאוד של ביוגז, מד זרימה נמוך במיוחד עבור CO2 וכו'.

מד זרימת גז תרמי בזרימה נמוכה/בקר זרימה עקרון עבודה

בקר זרימת המסה בקצב זרימה נמוך מורכב מחישן זרימת מסה בזרימה נמוכה, התקן שכבות זרימה למינרית, שסתום ויסות בקר זרימה ומעגל בקרת הגברה. זה נעשה על ידי שימוש באפקט חלוקת העברת החום של נוזל זורם כדי לשנות את חלוקת הטמפרטורה של דופן הנימים הנמדד.
בקר זרימת מסה בזרימה נמוכה זה משתמש בעקרון של קלורימטריית טמפרטורה דיפרנציאלית לפני ואחרי העברת חום נימי כדי למדוד את זרימת המסה של גז נמוכה כמו 2 sccm, ללא תלות בטמפרטורה ובלחץ. הגביר את אות הזרימה שנמדד על ידי החיישן, ולאחר מכן השווה אותו למתח שנקבע. השתמש בהפרש כדי להניע את שסתום ויסות הבקרה, ובלולאה סגורה לשלוט בזרימה דרך הערוץ כדי שיהיה שווה לזרימה שנקבעה.

מפרטי מד זרימה/בקר זרימה נמוכה

• טווח זרימת גז: 2 SCCM ~ 30 SL/M, כגון 100 מ"ל/דקה, 200 SCCM, 1 LPM, 2 SLM, 5 ליטר/דקה, 20 SLPM.
• יחס הפניה: 50:1 לבקר זרימת מסה דיגיטלית; 100:1 עבור מד זרימת מסה דיגיטלי;
• דיוק : ± 1% FS
• ליניאריות : ± 0.5% FS
• יכולת חזרה: ± 0.2% FS
• זמן תגובה: בקר זרימת מסה < 2 שניות; מד זרימת מסה <0.8 שניות
• תקשורת: RS232/485.MODBUS
• פלט: 0~5V,4-20mA,1-5V
• ספק כוח : ±15VDC,24VDC
• טמפרטורת פעולה: 0~50°C
• לחץ פעולה מקסימלי: 3MPa/10MPa
• חיישן זרימת מסה או חומר בקר זרימה : פלדת אל - חלד
• חיבור תהליך מד זרימה נמוכה: Φ3, Φ6, 1/8", 1/4 אינץ'