מד זרימת המסה מיישם את המדידה התרמית, ומודד את הזרימה באמצעות מדידת מסת המולקולות שנלקחו. בגלל המדידה התרמית, התוצאה לא תושפע משינויי הטמפרטורה והלחץ של הגז. כמכשיר מדידת זרימה מדויק, מהיר, אמין, יעיל, יציב וגמיש, נעשה שימוש נרחב במד זרימת מסה בתחומי עיבוד הנפט והתעשייה הכימית. יש לו פוטנציאל גדול בקידום מדידת זרימה. מד זרימת המסה אינו מסוגל לשלוט בזרימה, אך לזהות את זרימת המסה של נוזל או גז, עם תפוקת ערך הזרימה באמצעות מתח אנלוגי, זרם או תקשורת טורית.
עם זאת, בקר זרימת המסה הוא מכשיר שיכול לזהות, בו זמנית לשלוט בזרימה. לבקר זרימת המסה עצמו יש שסתום ויסות אלקטרומגנטי או שסתום פיזואלקטרי בנוסף לחלק המדידה, כך שנוצרת מערכת לולאה סגורה המאפשרת לו לשלוט בזרימת המסה. הערך שנקבע של בקר זרימת מסה יכול להיות מסופק על ידי מתח אנלוגי, זרם אנלוגי או מחשב ו- PLC.
מד זרימת מסה תרמי יכול לשמש מד זרימת אוויר דחוס , O2, Ar, N2, CO2, הוא, הליום, מד זרימת גז, מד זרימת גז CO2, מד זרימת ביוגז וכן הלאה.
