מד זרימת מסה תרמית הוא סוג של מד זרימת אוויר או אוויר דחוס עם יחידות זרימה CFM.
מרבית מדי הזרימה כדי לקבל קצב זרימת מסת אוויר דחוס צריכים למדוד את מסת הזרימה וצריכים מכשירים נוספים למדידת לחץ וטמפרטורה, כך שניתן לחשב את זרימת המסה וצפיפותה.
עם זאת, מד הזרימה האוויר של המסה התרמית מודד ישירות את זרימת מסת האוויר. מכאן שהוא אינו מושפע משינויי הטמפרטורה והלחץ. לפיכך מד זרימת המסה נותן קריאות מדויקות, אמינות וחוזרות על עצמן יותר מאשר מטרים אחרים. יש לו גם טווח טווח גדול יותר מאשר מדי זרימה אחרים.